作者asdwqq (活著就要動)
看板NEMS
標題[問題] RIE蝕刻限制
時間Fri Mar 19 18:20:16 2010
想請問RIE最小的蝕刻寬度是多少?
因為我目前想要用RIE蝕刻孔洞，尺寸為0.5um*0.5um
想要蝕刻的深度為6um
不知道學術界的RIE是否可以做到呢?
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.124.32.118
1F：→ modernpkman:材料? 03/19 22:50
2F：→ leox243:會有UNDER CUT... 03/19 23:00
3F：→ fotoa:是可以25到30的深寬比...不過還是要看被吃的材料跟阻擋層... 03/21 00:19
4F：→ fotoa:還有孔與孔的間隙...不能太小...最終最大的問題應該是...... 03/21 00:20
5F：→ fotoa:有機台願意讓你試這種的參數...這件事應該是最難... 03/21 00:21
6F：→ asdwqq:oxide 03/21 10:36
7F：推 hungin: 6um的厚度,..看來原po是想蝕刻CMOS MEMS的晶片吧 03/23 14:25
8F：推 hungin:根據原po前一個問題..推想原po是下CIC的CMOS MEMS後想要後 03/23 14:38
9F：→ hungin:製程把oxide去除..如果是全部要去除不考慮undercut除了SV3. 03/23 14:39
10F：→ hungin:還有個方法...HF vapor,查查paper試試吧..不過要注意安全 03/23 14:40