作者asdwqq (活著就要動)
看板NEMS
標題[問題] 想知道氧化矽蝕刻情況
時間Tue Mar 16 22:58:22 2010
我的問題是在Al的下方有一層oxide，而Al這一層薄膜我有開蝕刻孔，
大小約為10um*10um，我想將這一層oxide給去除，使用SV3蝕刻液
但是問題是我要怎樣知道Al下方的oxide被蝕刻的情況呢?
不能用破壞性量測，例如:把Al去除
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 218.34.239.18
1F：推 honna:不嫌麻煩的話就用PDMS複製結構後，再用SEM或其他設備check吧 03/17 01:17
2F：推 ultimachen:在旁邊作一根兩倍寬的懸樑臂，有release開的話就會 03/17 10:03
3F：→ ultimachen:因為殘餘應力翹起來 03/17 10:04
4F：推 tzjwinfcha:原來還有這種方法，筆記ing 03/17 23:48
5F：→ bb7:我猜原po應該是下CIC的線 03/19 18:44