作者asdwqq (活着就要动)
看板NEMS
标题[问题] 想知道氧化矽蚀刻情况
时间Tue Mar 16 22:58:22 2010
我的问题是在Al的下方有一层oxide，而Al这一层薄膜我有开蚀刻孔，
大小约为10um*10um，我想将这一层oxide给去除，使用SV3蚀刻液
但是问题是我要怎样知道Al下方的oxide被蚀刻的情况呢?
不能用破坏性量测，例如:把Al去除
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 218.34.239.18
1F：推 honna:不嫌麻烦的话就用PDMS复制结构後，再用SEM或其他设备check吧 03/17 01:17
2F：推 ultimachen:在旁边作一根两倍宽的悬梁臂，有release开的话就会 03/17 10:03
3F：→ ultimachen:因为残余应力翘起来 03/17 10:04
4F：推 tzjwinfcha:原来还有这种方法，笔记ing 03/17 23:48
5F：→ bb7:我猜原po应该是下CIC的线 03/19 18:44