作者koCE (摳熙壹)
看板NEMS
標題[問題] lift-off
時間Mon Mar 1 21:36:24 2010
小弟最近在做lift-off
一直遇到問題
先說一下我的製程
我使用蒸鍍的方法
底材是載玻片
鍍的金屬是黃金 Cr當黏著層
是要當做導線之用 線寬是300micron
每次鍍500A 總共鍍了2000A
在lift-off的時候
我泡完丙酮有稍微用水彩筆刷一下
可是黃金很容易掉落
每次看到pattern不見
一整個就是欲哭無淚啊
不知道各位先進
可以建議一下怎樣比較容易成功嗎？
還是改用其他金屬當導線會比較好呢？
先感謝各位了～
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 210.242.224.61
1F：推 Keelungman:一般都先注意光阻殘留以及 undercut 有沒有做好 03/02 02:20
2F：推 blackacre:上光阻之前做一下piranha吧。還有不能用筆刷 03/02 12:53
3F：→ peanut2:金延展性好，不易lift-off 用蝕刻方式較好 不然就考慮Cu 03/04 10:50
4F：→ peanut2:不然就是薄一點的金，1500A以下，會較好lift-off 03/04 10:53
5F：推 peanut2:2樓的方法也不錯，或是用稀HF輕泡一下 增加粗糙度和附著力 03/04 10:57
6F：→ achieveman:蒸鍍速度可能太快了也是原因之一 03/26 11:26