作者koCE (抠熙壹)
看板NEMS
标题[问题] lift-off
时间Mon Mar 1 21:36:24 2010
小弟最近在做lift-off
一直遇到问题
先说一下我的制程
我使用蒸镀的方法
底材是载玻片
镀的金属是黄金 Cr当黏着层
是要当做导线之用 线宽是300micron
每次镀500A 总共镀了2000A
在lift-off的时候
我泡完丙酮有稍微用水彩笔刷一下
可是黄金很容易掉落
每次看到pattern不见
一整个就是欲哭无泪啊
不知道各位先进
可以建议一下怎样比较容易成功吗？
还是改用其他金属当导线会比较好呢？
先感谢各位了～
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 210.242.224.61
1F：推 Keelungman:一般都先注意光阻残留以及 undercut 有没有做好 03/02 02:20
2F：推 blackacre:上光阻之前做一下piranha吧。还有不能用笔刷 03/02 12:53
3F：→ peanut2:金延展性好，不易lift-off 用蚀刻方式较好 不然就考虑Cu 03/04 10:50
4F：→ peanut2:不然就是薄一点的金，1500A以下，会较好lift-off 03/04 10:53
5F：推 peanut2:2楼的方法也不错，或是用稀HF轻泡一下 增加粗糙度和附着力 03/04 10:57
6F：→ achieveman:蒸镀速度可能太快了也是原因之一 03/26 11:26