作者oklag (oklag)
看板NEMS
標題[問題] 請問有沒有平面的封膠方式
時間Tue Feb 2 15:30:04 2010
若是在晶片上蝕刻出凹槽
一般的封膠方式可能會把凹槽填滿
請問是否有辦法把凹槽保留而把晶片表面封起來？
像是水溝蓋一樣
底下留著凹槽，水溝蓋把凹槽跟外界隔離
請各位不吝指教
謝謝
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.19.155
1F：推 quaintness:blue type 02/02 15:53
2F：→ quaintness: a 02/02 15:55
3F：推 jam46:晶片可以從背面蝕刻嗎？像做傳統壓力計的薄膜結構一樣... 02/02 23:42
4F：推 dalaba99:microspray may help 02/03 07:15
5F：推 Ice98:PDMS bonding 可以嗎? 02/03 12:01
6F：推 wanttu:薄膜跟PDMS可以做到 02/03 12:36
7F：→ oklag:謝謝各位的建議，小弟感激不盡!! 02/03 16:36
8F：推 colintsai:找杜邦乾膜, Tenting 02/06 00:22
9F：推 Jinuse:推一下杜邦乾膜 可以試試PerMX 02/06 15:24