作者leox243 (LEOX)
看板NEMS
標題Re: [問題] 洗4" Wafer用的 teflon洗盤!?!?
時間Fri Jan 8 09:34:05 2010
※ 引述《Harki (Brin)》之銘言：
: 第一次在次po文
: 想請叫大家一些問題!
: 最近我們老師希望我在做Spin coating時，
: 直接使用 4" 的wafer去做，但目前lab裡沒有那麼大的器
: 材可以裝BOE做為清洗4" wafer使用，
: 想請問類似在做wet bench，其所使用的洗盤 燒杯都是coating Teflon的嗎!?
: 這些東西又該向那個廠商購買呢!?
: 因為和我們lab常接觸的廠商似乎都沒有賣!?!
: lab 第一次買這一類的東西!
: 可否請大家推薦一些廠商?
: 謝謝大家!
你要洗單片還是25片?
鐵氟龍容器可以訂做，GOOGLE一下就很多，北中南都有
如果要現品最大我只看過1000CC的鐵氟龍燒杯，不是COATING的鐵氟龍
是整個杯子都是鐵氟龍做的，我有一個500CC的，市售最便宜的價格將近兩千
1000CC的會更貴，貴很多
不過如果要省錢的話，其實PP就可以裝HF
(莫克的瓶裝HF應該都是PP容器吧)
如果要PP的話隨便一間塑膠材料行都有
買厚一點的就行了
自己買一塊用工具機切削可能兩三千塊左右就打死
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 122.121.202.181
1F：推 Harki:感謝你的意見! 我只是要洗單片而已! 01/08 11:25
2F：→ Harki:所以 我只要買PP的盤子 就可以了嗎?! 01/08 11:26
西低，不過我還是建議買厚一點的，太薄的有可能最後就脆化掉了
(尤其在那種甚麼溶液都有的實驗室)
3F：推 yongx:裝光碟的布丁桶倒過來用.原先的底座就變蓋子...用好幾年了 01/08 16:12
4F：推 paullai:我還以為原PO要洗25片 Orz 01/09 13:14
5F：推 Ice98:BOE一次洗25片會不會太猛 XD 01/09 13:18
6F：推 Ice98:我只有硫酸+雙氧水這樣搞過 01/09 13:19
我在NDL以前也有幫人一次洗25片6吋的
大概洗完一輪整個RCA就差不多可以換酸了= =
※ 編輯: leox243 來自: 118.171.127.29 (01/09 23:31)