作者leox243 (LEOX)
看板NEMS
标题Re: [问题] 洗4" Wafer用的 teflon洗盘!?!?
时间Fri Jan 8 09:34:05 2010
※ 引述《Harki (Brin)》之铭言：
: 第一次在次po文
: 想请叫大家一些问题!
: 最近我们老师希望我在做Spin coating时，
: 直接使用 4" 的wafer去做，但目前lab里没有那麽大的器
: 材可以装BOE做为清洗4" wafer使用，
: 想请问类似在做wet bench，其所使用的洗盘 烧杯都是coating Teflon的吗!?
: 这些东西又该向那个厂商购买呢!?
: 因为和我们lab常接触的厂商似乎都没有卖!?!
: lab 第一次买这一类的东西!
: 可否请大家推荐一些厂商?
: 谢谢大家!
你要洗单片还是25片?
铁氟龙容器可以订做，GOOGLE一下就很多，北中南都有
如果要现品最大我只看过1000CC的铁氟龙烧杯，不是COATING的铁氟龙
是整个杯子都是铁氟龙做的，我有一个500CC的，市售最便宜的价格将近两千
1000CC的会更贵，贵很多
不过如果要省钱的话，其实PP就可以装HF
(莫克的瓶装HF应该都是PP容器吧)
如果要PP的话随便一间塑胶材料行都有
买厚一点的就行了
自己买一块用工具机切削可能两三千块左右就打死
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 122.121.202.181
1F：推 Harki:感谢你的意见! 我只是要洗单片而已! 01/08 11:25
2F：→ Harki:所以 我只要买PP的盘子 就可以了吗?! 01/08 11:26
西低，不过我还是建议买厚一点的，太薄的有可能最後就脆化掉了
(尤其在那种甚麽溶液都有的实验室)
3F：推 yongx:装光碟的布丁桶倒过来用.原先的底座就变盖子...用好几年了 01/08 16:12
4F：推 paullai:我还以为原PO要洗25片 Orz 01/09 13:14
5F：推 Ice98:BOE一次洗25片会不会太猛 XD 01/09 13:18
6F：推 Ice98:我只有硫酸+双氧水这样搞过 01/09 13:19
我在NDL以前也有帮人一次洗25片6寸的
大概洗完一轮整个RCA就差不多可以换酸了= =
※ 编辑: leox243 来自: 118.171.127.29 (01/09 23:31)