作者wwwok (勇敢的堅持下去)
看板NEMS
標題[問題] 關於MEMS結構上產生的雜訊
時間Sun Nov 22 03:37:39 2009
小弟本身是EE背景的
主要研究的方向是CMOS MEMS的整合
實際上是負責CMOS電路設計這一塊啦
不過電路設計主要是依照MEMS的結購和功用而定
例如像是GAS SENSOR之類的東西
不過最近再設計電路時常常與我的指導教授討論到一個問題
就是MEMS本身所產生NOISE相關的模擬與解決的辦法
因為我所設計的電路 往往都是在感測MEMS結構上的訊號
所以對於MEMS結構本身所產生的訊號與雜訊
勢必得做個分析與了解
問題就在這裡 對於電路本身的NOISE有軟體可以幫忙模擬分析
但是MEMS上的NOISE有特定的軟體分析嗎？
最好是可以能夠模擬出訊雜比(SNR)的部份
煩請版上各位大大給小弟一點意見與指教了
另外想請問一下 有在做CMOS MEMS CHIP的大大
在MEMS與電路間 有需要做一些特別的LAYOUT嗎
我個人是會用PTGR和NTGR做阻隔(好像是叫做GARDING嗎 有點忘記了)
除了這個以外 還有什麼需要特別注意的嗎
謝謝各位了
--
只有在被愛的時候 才會發現自己是多麼的重要
只有在愛一個人的時候 才會發現原來可以這麼在乎一個人
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 58.114.195.146
※ 編輯: wwwok 來自: 58.114.195.146 (11/22 03:38)
1F：→ asdwqq:可以使用coventor裡面的模組將MEMS做為等效電路模型，然後 11/22 13:03
2F：→ asdwqq:再做分析，或試著將你的sensor等效成電路，再使用hspice 11/22 13:05