作者dantallcool (蛋頭)
看板NEMS
標題[問題] 蝕刻問題
時間Wed Nov 11 15:49:57 2009
不好意思
小弟最近才剛開始接觸濕蝕刻
請問一下用KOH蝕刻時
要用甚麼樣的容器比較好?
如果我wafer只要蝕刻5000nm
只用光阻擋的住嗎?
如果要做玻璃蝕刻
是任何一種玻璃都可以嗎?(ex.蓋玻片.載玻片....)
謝謝
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◆ From: 140.116.73.146
1F：推 tzjwinfcha:KOH用一般的燒杯即可，擋KOH，用SIO2或SI3N4吧 11/11 16:02
2F：推 O89457:KOH用塑膠之類的應該都可以裝(不加熱)玻璃還是用BOE去刻吧 11/11 16:02
3F：→ fotoa:普通光阻應該是擋不住KOH...容器則是玻璃燒杯就可以... 11/11 16:03
4F：推 cbshu:Si3N4選擇比比較高一點 11/14 19:57