作者dantallcool (蛋头)
看板NEMS
标题[问题] 蚀刻问题
时间Wed Nov 11 15:49:57 2009
不好意思
小弟最近才刚开始接触湿蚀刻
请问一下用KOH蚀刻时
要用甚麽样的容器比较好?
如果我wafer只要蚀刻5000nm
只用光阻挡的住吗?
如果要做玻璃蚀刻
是任何一种玻璃都可以吗?(ex.盖玻片.载玻片....)
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.116.73.146
1F：推 tzjwinfcha:KOH用一般的烧杯即可，挡KOH，用SIO2或SI3N4吧 11/11 16:02
2F：推 O89457:KOH用塑胶之类的应该都可以装(不加热)玻璃还是用BOE去刻吧 11/11 16:02
3F：→ fotoa:普通光阻应该是挡不住KOH...容器则是玻璃烧杯就可以... 11/11 16:03
4F：推 cbshu:Si3N4选择比比较高一点 11/14 19:57