作者forceout (forceout)
看板NEMS
標題[問題] 除了silicon nitride和oxide,還有什麼能擋KOH,TMAH?
時間Wed Nov 4 22:32:41 2009
濕蝕刻目標是.....1.5mm silicon
應該只有nitride能擋
但是wafer不能進爐管
目前要測試的選項有parylene, spin on glass還有什麼?
線寬~5mm
另外有人用過spin on glass嗎?
有沒有製程參數?
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.56.132
1F：→ fotoa:用金屬擋? 不過線寬5mm 用洗刀比較快吧...洗個模具在鋪PDMS. 11/06 01:41
2F：→ fotoa:應該可以得到相同的結構... 11/06 01:41
3F：推 leox243:線寬5mm?拿去雷射切割就可以啦 11/06 11:17
4F：→ forceout:我也想用雷射切54.7度.可惜不能 11/09 10:33
5F：推 fotoa:雷射其實是可以切角度的... 11/09 19:22
6F：→ fotoa:而且線徑太大了 應該是不會有角度的... 11/09 19:24
7F：→ forceout:我找三家雷射都不給改角度 11/15 23:05