作者forceout (forceout)
看板NEMS
标题[问题] 除了silicon nitride和oxide,还有什麽能挡KOH,TMAH?
时间Wed Nov 4 22:32:41 2009
湿蚀刻目标是.....1.5mm silicon
应该只有nitride能挡
但是wafer不能进炉管
目前要测试的选项有parylene, spin on glass还有什麽?
线宽~5mm
另外有人用过spin on glass吗?
有没有制程参数?
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.56.132
1F：→ fotoa:用金属挡? 不过线宽5mm 用洗刀比较快吧...洗个模具在铺PDMS. 11/06 01:41
2F：→ fotoa:应该可以得到相同的结构... 11/06 01:41
3F：推 leox243:线宽5mm?拿去雷射切割就可以啦 11/06 11:17
4F：→ forceout:我也想用雷射切54.7度.可惜不能 11/09 10:33
5F：推 fotoa:雷射其实是可以切角度的... 11/09 19:22
6F：→ fotoa:而且线径太大了 应该是不会有角度的... 11/09 19:24
7F：→ forceout:我找三家雷射都不给改角度 11/15 23:05