作者newbrain (matlab=中學數學)
看板NEMS
標題[問題] 請問平坦化技術CMP哪裡有呢?
時間Thu Oct 15 19:10:53 2009
我這裡有一種材料叫做HSQ
是一種Spin on glass
我做了一些奈米級的周期性結構上去
然後再塗上HSQ
我發現好像會有40nm的起伏
那我是不是可以把它拿去做像CMP這種技術的平坦化呢?
有機會變得更平坦嗎?
順道問一下是否有人在做這方面的研究的?
謝謝
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◆ From: 140.112.33.149
※ 編輯: newbrain 來自: 140.112.33.149 (10/16 18:28)
1F：推 danru:+1 我也想知道那裡可以做CMP @@ 10/30 17:00
2F：推 lockq:NDL有CMP阿～ 11/03 01:24