作者newbrain (matlab=中学数学)
看板NEMS
标题[问题] 请问平坦化技术CMP哪里有呢?
时间Thu Oct 15 19:10:53 2009
我这里有一种材料叫做HSQ
是一种Spin on glass
我做了一些奈米级的周期性结构上去
然後再涂上HSQ
我发现好像会有40nm的起伏
那我是不是可以把它拿去做像CMP这种技术的平坦化呢?
有机会变得更平坦吗?
顺道问一下是否有人在做这方面的研究的?
谢谢
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◆ From: 140.112.33.149
※ 编辑: newbrain 来自: 140.112.33.149 (10/16 18:28)
1F：推 danru:+1 我也想知道那里可以做CMP @@ 10/30 17:00
2F：推 lockq:NDL有CMP阿～ 11/03 01:24