作者achieveman (暫無)
看板NEMS
標題[問題] 濺鍍鎳鉻合金靶材
時間Wed Oct 14 17:29:45 2009
我們打算要用RF SPUTTER濺鍍鎳(80%)鉻合金靶材
功率只到250W,不知道可不可行?
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.38.246
1F：→ prions:這功率還挺高的XD，沒用過這靶材，不過我SiO2 300W 脫靶O_Q 10/22 01:35
2F：推 IZO:也要看壓力 還有是否為磁控濺鍍 10/30 02:00