作者achieveman (暂无)
看板NEMS
标题[问题] 溅镀镍铬合金靶材
时间Wed Oct 14 17:29:45 2009
我们打算要用RF SPUTTER溅镀镍(80%)铬合金靶材
功率只到250W,不知道可不可行?
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.38.246
1F：→ prions:这功率还挺高的XD，没用过这靶材，不过我SiO2 300W 脱靶O_Q 10/22 01:35
2F：推 IZO:也要看压力 还有是否为磁控溅镀 10/30 02:00