作者LScouple (找到出路)
看板NEMS
標題[問題] sputter技術
時間Wed Oct 14 16:40:34 2009
想請問ㄧ下
我想在一個si wafer上(含10um深,寬度0.2um)奈米線結構
用sputter鍍上ZnO 300nm
有辦法完整包覆不穿破嗎?ZnO下得去奈米線的邊緣嗎?
謝謝
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◆ From: 140.112.102.175
1F：推 prions:在mechanical版有回你瞜~應該是不行的 10/22 01:34