作者LScouple (找到出路)
看板NEMS
标题[问题] sputter技术
时间Wed Oct 14 16:40:34 2009
想请问ㄧ下
我想在一个si wafer上(含10um深,宽度0.2um)奈米线结构
用sputter镀上ZnO 300nm
有办法完整包覆不穿破吗?ZnO下得去奈米线的边缘吗?
谢谢
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◆ From: 140.112.102.175
1F：推 prions:在mechanical版有回你瞜~应该是不行的 10/22 01:34