作者stan7687 (阿港)
看板NEMS
標題[問題]有關厚光阻購買 參數問題
時間Mon Oct 12 20:49:57 2009
大家好，小弟我實驗室微機電製程要做微流道結構，
在尋找厚一點的光阻，能塗到20~60μm ，
目前找到的有SU-8，NPR-2500F，AZ 4620 ，AZ 9260， SJR 5740，NR5-8000
不知道能不能分享使用的經驗，跟哪家廠商買較有效率，因為急需。
目前知道SU-8 可以塗比較平坦，但相對比較貴和不好去除，
實驗室經費有限，希望也能知道其他選擇做結構的厚光阻，感謝!!
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◆ From: 140.112.94.172
1F：推 lockq:SU-8沒有比較平坦吧 4620應該就可以到60um了 我之前做過 10/13 08:56
2F：推 prions:推樓上，SU-8沒有時間還是別用的好XD 10/22 01:37