作者stan7687 (阿港)
看板NEMS
标题[问题]有关厚光阻购买 参数问题
时间Mon Oct 12 20:49:57 2009
大家好，小弟我实验室微机电制程要做微流道结构，
在寻找厚一点的光阻，能涂到20~60μm ，
目前找到的有SU-8，NPR-2500F，AZ 4620 ，AZ 9260， SJR 5740，NR5-8000
不知道能不能分享使用的经验，跟哪家厂商买较有效率，因为急需。
目前知道SU-8 可以涂比较平坦，但相对比较贵和不好去除，
实验室经费有限，希望也能知道其他选择做结构的厚光阻，感谢!!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.94.172
1F：推 lockq:SU-8没有比较平坦吧 4620应该就可以到60um了 我之前做过 10/13 08:56
2F：推 prions:推楼上，SU-8没有时间还是别用的好XD 10/22 01:37