作者tony007 (小小風)
看板NEMS
標題[問題] 能夠做晶圓切割的廠商?(南部)
時間Thu Sep 24 10:23:45 2009
想請教一下各位
由於6吋Si基板正面已經有鍍上東西,也做好光罩
間距只有2mm,所以可能自己切的準度會有所偏差,所需要切割大小大約為18x18mm
已有詢問NDL和CIC台南廠,他們都說沒有雷射切割機
想詢問南部有切割的廠商,可以切割的嗎
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◆ From: 140.127.205.58
1F：→ honna:成大微奈米中心有晶圓切割機可以切6" wafer 09/24 10:49
2F：→ honna:抱歉，沒注意到上面有pattern，所以晶圓切割機可能不適用... 09/24 10:51
3F：推 leox243:2mm其實還好，現在我手切差不多可以控制在這個誤差內 09/24 13:14
4F：→ leox243:我是有接觸過一間雷射切割廠商，可以切晶圓 09/24 13:14
5F：→ leox243:但無法精密定位，而且如果是一般650um厚的WAFER 09/24 13:15
6F：→ leox243:可能要切很久 09/24 13:16