作者NCC1701 (對~我是白癡)
看板NEMS
標題[問題] 矽蝕刻代工
時間Fri Sep 11 21:34:10 2009
本來找的代工公司機台要賣掉了
現在要找second source = =
不知道有誰知道哪裡有在代工非等向性蝕刻Si
而且可以用Cr當hard mask的
蝕刻速率約300~700nm/min
我現在找到的機台蝕刻速率都太快了
感謝 T_T
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. 沒有哪顆星子因為座標的偏遠而忘記了發光‥‥ .
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.20.21
1F：→ asdwqq:中研院吧!!裡面有ICP，而且不管你用金屬當HARD MASK 09/11 22:24
2F：推 cbshu:中研院不是不收代工嗎? 09/13 21:34
3F：→ cbshu:工研院可以 也可以用Cr當作hardmask 09/13 21:34
4F：→ cbshu:只是 看你的蝕刻速率 應該是要找RIE吧? 09/13 21:35
5F：→ cbshu:RIE的話 要用Cr當作MASK的機台 就不是很清楚了 09/13 21:35
6F：推 forceout:志聖賣給誰阿 09/21 19:07