作者NCC1701 (对~我是白痴)
看板NEMS
标题[问题] 矽蚀刻代工
时间Fri Sep 11 21:34:10 2009
本来找的代工公司机台要卖掉了
现在要找second source = =
不知道有谁知道哪里有在代工非等向性蚀刻Si
而且可以用Cr当hard mask的
蚀刻速率约300~700nm/min
我现在找到的机台蚀刻速率都太快了
感谢 T_T
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. 没有哪颗星子因为座标的偏远而忘记了发光‥‥ .
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.20.21
1F：→ asdwqq:中研院吧!!里面有ICP，而且不管你用金属当HARD MASK 09/11 22:24
2F：推 cbshu:中研院不是不收代工吗? 09/13 21:34
3F：→ cbshu:工研院可以 也可以用Cr当作hardmask 09/13 21:34
4F：→ cbshu:只是 看你的蚀刻速率 应该是要找RIE吧? 09/13 21:35
5F：→ cbshu:RIE的话 要用Cr当作MASK的机台 就不是很清楚了 09/13 21:35
6F：推 forceout:志圣卖给谁阿 09/21 19:07