作者dobb (我應該是快撐夠了吧)
看板NEMS
標題[問題] 請問超厚SU-8 2075 曝光及PEB建議參數 THK>700 um
時間Tue Sep 8 06:12:06 2009
哈囉
根據Microchem給我的資料
coating 四次可以到700 um
我現在急需曝光時間的建議
在我們的機台
130 um 100 sec
300 um 145 sec
700 um 我不知道多少 但我要賭300 sec
不知各位高手有建議嗎?
PEB我是打算 1 hour at 100度Ｃ
還是要照data sheet 65度Ｃ and 95度Ｃ 這樣烤？
感謝
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