作者dobb (我应该是快撑够了吧)
看板NEMS
标题[问题] 请问超厚SU-8 2075 曝光及PEB建议参数 THK>700 um
时间Tue Sep 8 06:12:06 2009
哈罗
根据Microchem给我的资料
coating 四次可以到700 um
我现在急需曝光时间的建议
在我们的机台
130 um 100 sec
300 um 145 sec
700 um 我不知道多少 但我要赌300 sec
不知各位高手有建议吗?
PEB我是打算 1 hour at 100度Ｃ
还是要照data sheet 65度Ｃ and 95度Ｃ 这样烤？
感谢
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