作者forquet (緣分~很奇妙)
看板NEMS
標題[問題] 問幾種蝕刻的差異
時間Tue Aug 11 12:23:13 2009
主要是做過ICP以及RIE的etching
但發現在蝕刻上還有幾種比較少討論到的
像是Bosch以及Cryogenic製程
不知道各位先進能分享相關的information嗎?
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 60.250.207.55
1F：→ panzerfausty:process information應該Google就太多了,請自行檢索. 08/20 09:49
2F：→ panzerfausty:若是機台資訊方面,幾大運用Bosch etch的機台廠商,如 08/20 09:51
3F：→ panzerfausty:STS, Alcatel, Oxford...都能查/問到東西. 08/20 09:52