作者forquet (缘分~很奇妙)
看板NEMS
标题[问题] 问几种蚀刻的差异
时间Tue Aug 11 12:23:13 2009
主要是做过ICP以及RIE的etching
但发现在蚀刻上还有几种比较少讨论到的
像是Bosch以及Cryogenic制程
不知道各位先进能分享相关的information吗?
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 60.250.207.55
1F：→ panzerfausty:process information应该Google就太多了,请自行检索. 08/20 09:49
2F：→ panzerfausty:若是机台资讯方面,几大运用Bosch etch的机台厂商,如 08/20 09:51
3F：→ panzerfausty:STS, Alcatel, Oxford...都能查/问到东西. 08/20 09:52