作者panzerfausty (海王子)
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標題Re: [問題] 49%HF吃BPSG速率問題
時間Sat Aug 8 00:18:40 2009
※ 引述《Ice98 (又寂寞又美好)》之銘言：
: ※ 引述《Jia1986 (平淡過生活的無奈)》之銘言：
: : 想請教各位前輩
: : 蝕刻速率問題
: : 用49%的HF去吃直徑400um(370um)、高2.75um的BPSG大概要吃多久呢?
: : 有蝕刻速率計算這方面的書嗎?
: : 這方面沒什麼經驗所以想請教一下各位前輩...
: : 先感謝各位了!
: http://ieeexplore.ieee.org/search/wrapper.jsp?arnumber=546406
: 裡面可能有你要的資訊
那一篇用處有限,因您提的是BPSG,所以B/P ratio也影響蝕刻率,此外BPSG film
deposition後的baking/curing process或其在環境中吸水氣的時間也影響蝕刻
率,簡單說,做一次實驗測蝕刻率還比較實在!
又,這pattern是要整個吃掉還是有hard mask/photo resist? 才2.75um用49%HF
實務上會不會快到無法控制啊? 請慎思!
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