作者panzerfausty (海王子)
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标题Re: [问题] 49%HF吃BPSG速率问题
时间Sat Aug 8 00:18:40 2009
※ 引述《Ice98 (又寂寞又美好)》之铭言：
: ※ 引述《Jia1986 (平淡过生活的无奈)》之铭言：
: : 想请教各位前辈
: : 蚀刻速率问题
: : 用49%的HF去吃直径400um(370um)、高2.75um的BPSG大概要吃多久呢?
: : 有蚀刻速率计算这方面的书吗?
: : 这方面没什麽经验所以想请教一下各位前辈...
: : 先感谢各位了!
: http://ieeexplore.ieee.org/search/wrapper.jsp?arnumber=546406
: 里面可能有你要的资讯
那一篇用处有限,因您提的是BPSG,所以B/P ratio也影响蚀刻率,此外BPSG film
deposition後的baking/curing process或其在环境中吸水气的时间也影响蚀刻
率,简单说,做一次实验测蚀刻率还比较实在!
又,这pattern是要整个吃掉还是有hard mask/photo resist? 才2.75um用49%HF
实务上会不会快到无法控制啊? 请慎思!
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