作者panzerfausty (海王子)
站內NEMS
標題Re: [問題] Isotropic dry etch Aluminum 的機台
時間Fri Aug 7 22:21:18 2009
※ 引述《tjime831 (James_IN (準))》之銘言：
: 請個各大大
: 有人知道那裡有機台可以 做乾蝕等向性蝕刻 Aluminum,
: Undercut 可能要有10um的能力
: 感謝
Applied material P5000/Centura 調一下recipe絕對做得到. 隨便找個fab
都借得到,反倒是光阻要慎選 (不知critical dimension及undercut的uni-
formity如何?)
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 210.192.232.12