作者panzerfausty (海王子)
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标题Re: [问题] Isotropic dry etch Aluminum 的机台
时间Fri Aug 7 22:21:18 2009
※ 引述《tjime831 (James_IN (准))》之铭言：
: 请个各大大
: 有人知道那里有机台可以 做乾蚀等向性蚀刻 Aluminum,
: Undercut 可能要有10um的能力
: 感谢
Applied material P5000/Centura 调一下recipe绝对做得到. 随便找个fab
都借得到,反倒是光阻要慎选 (不知critical dimension及undercut的uni-
formity如何?)
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◆ From: 210.192.232.12