作者bbturtle (嗯)
看板NEMS
標題[問題] 玻璃基板與金屬的黏著性問題
時間Fri Jul 31 17:21:29 2009
因為敝實驗室沒有用過玻璃基板的經驗
請問一下有使用過玻璃基板的高手
我如果在玻璃基板上用RF sputter 100nm厚的銅薄膜
銅跟玻璃基板的黏著力好嗎?
有沒有可能清洗的時候就掉下來了
不好意思請教大家了
感激不盡!
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.23.239
1F：→ wanttu:我沒用過....但可能要先上一層HMDS ?! 07/31 19:28
2F：→ quaintness:加HMDS會不會太扯了，無機和有機材料之間的耦合劑而已 08/01 00:25
3F：→ quaintness:萬用?! 能加都加XD .. 先鍍層Cr或Ti當adhesion layer 08/01 00:27
4F：推 LittleHwa:嘿.. 加了可能在清洗時全部掉下來 08/01 12:52
5F：→ LittleHwa: 打上去的 08/01 12:52
6F：推 wanttu:在做LCD的時候是看過動畫上說要加HMDS 但我沒試過就是了 08/02 22:55
7F：→ wanttu:原來不能加阿? 看過友達的動畫影片上面是如此寫的 08/02 22:56
8F：→ wanttu:阿 沒事 我看成光阻跟玻璃基板了 呵呵 @@" 08/02 22:57
9F：推 Ice98:好奇原PO如果已經去試的話 現在應該在哭哭了 08/03 00:54
10F：推 tzjwinfcha:實驗就是一連串的TRY&ERROR 08/03 01:31
11F：推 wanttu:被版主虧了 :'( 08/03 09:15
12F：推 al11062000:有嘗試過玻璃上鍍Al做測試,負荷在100um下薄膜沒有受損 08/03 10:23