作者bbturtle (嗯)
看板NEMS
标题[问题] 玻璃基板与金属的黏着性问题
时间Fri Jul 31 17:21:29 2009
因为敝实验室没有用过玻璃基板的经验
请问一下有使用过玻璃基板的高手
我如果在玻璃基板上用RF sputter 100nm厚的铜薄膜
铜跟玻璃基板的黏着力好吗?
有没有可能清洗的时候就掉下来了
不好意思请教大家了
感激不尽!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.23.239
1F：→ wanttu:我没用过....但可能要先上一层HMDS ?! 07/31 19:28
2F：→ quaintness:加HMDS会不会太扯了，无机和有机材料之间的耦合剂而已 08/01 00:25
3F：→ quaintness:万用?! 能加都加XD .. 先镀层Cr或Ti当adhesion layer 08/01 00:27
4F：推 LittleHwa:嘿.. 加了可能在清洗时全部掉下来 08/01 12:52
5F：→ LittleHwa: 打上去的 08/01 12:52
6F：推 wanttu:在做LCD的时候是看过动画上说要加HMDS 但我没试过就是了 08/02 22:55
7F：→ wanttu:原来不能加阿? 看过友达的动画影片上面是如此写的 08/02 22:56
8F：→ wanttu:阿 没事 我看成光阻跟玻璃基板了 呵呵 @@" 08/02 22:57
9F：推 Ice98:好奇原PO如果已经去试的话 现在应该在哭哭了 08/03 00:54
10F：推 tzjwinfcha:实验就是一连串的TRY&ERROR 08/03 01:31
11F：推 wanttu:被版主亏了 :'( 08/03 09:15
12F：推 al11062000:有尝试过玻璃上镀Al做测试,负荷在100um下薄膜没有受损 08/03 10:23