作者cbshu (Chiapao)
看板NEMS
標題Re: [閒聊] 做scanning mirror 與 accelermoeter的 …
時間Sun Jul 19 16:34:19 2009
: accelerometer目前很多人是往CMOS MEMS的方向做
一次舉給你幾個好了
ADI
BOSCH
VTI
Hitachi
ST
Denso
等等
都不是CMOS MEMS的喔
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.113.18.46
1F：→ divhexa:總覺得f大的意思是說學術界的加速規往CMOS-MEMS方向發展 07/19 16:38
2F：→ cbshu:因為我就不是做CMOS MEMS的加速度計,所以 XD 07/19 16:43
3F：→ cbshu:我們實驗室的確有一組CMOS MEMS 07/19 16:44
4F：→ cbshu:不過並不是學術界都往CMOSMEMS這個方向 我是這樣覺得啦 07/19 16:46
5F：→ cbshu:Bulk也有很多的優勢,所以實驗室兩者都有人在研究 07/19 16:47
6F：→ divhexa:XD bulk在設計上的確比較不受限制 07/19 19:55
7F：推 tzjwinfcha:感謝C大的分享 07/19 22:42
8F：→ lightnsalt:恕在下無知，所謂CMOS-MEMS跟Bulk Acc的差別，除了電路 07/22 02:42
9F：→ lightnsalt:之外，是CMOS-MEMS以surface micromaching製作proof 07/22 02:42
10F：→ lightnsalt:mass，而bulk acc.則是以wafer bonding等方式製作嗎？ 07/22 02:43
11F：推 lightnsalt:還是指sensing ckt跟 acc.有沒有在同一晶片上？ 07/22 02:48