作者cbshu (Chiapao)
看板NEMS
标题Re: [闲聊] 做scanning mirror 与 accelermoeter的 …
时间Sun Jul 19 16:34:19 2009
: accelerometer目前很多人是往CMOS MEMS的方向做
一次举给你几个好了
ADI
BOSCH
VTI
Hitachi
ST
Denso
等等
都不是CMOS MEMS的喔
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.113.18.46
1F：→ divhexa:总觉得f大的意思是说学术界的加速规往CMOS-MEMS方向发展 07/19 16:38
2F：→ cbshu:因为我就不是做CMOS MEMS的加速度计,所以 XD 07/19 16:43
3F：→ cbshu:我们实验室的确有一组CMOS MEMS 07/19 16:44
4F：→ cbshu:不过并不是学术界都往CMOSMEMS这个方向 我是这样觉得啦 07/19 16:46
5F：→ cbshu:Bulk也有很多的优势,所以实验室两者都有人在研究 07/19 16:47
6F：→ divhexa:XD bulk在设计上的确比较不受限制 07/19 19:55
7F：推 tzjwinfcha:感谢C大的分享 07/19 22:42
8F：→ lightnsalt:恕在下无知，所谓CMOS-MEMS跟Bulk Acc的差别，除了电路 07/22 02:42
9F：→ lightnsalt:之外，是CMOS-MEMS以surface micromaching制作proof 07/22 02:42
10F：→ lightnsalt:mass，而bulk acc.则是以wafer bonding等方式制作吗？ 07/22 02:43
11F：推 lightnsalt:还是指sensing ckt跟 acc.有没有在同一晶片上？ 07/22 02:48