作者fluid (那是啥)
看板NEMS
標題Re: [閒聊] 做scanning mirror 與 accelermoeter的 …
時間Sun Jul 19 03:40:23 2009
※ 引述《tzjwinfcha (TZJ)》之銘言：
: 閒聊而已
: 目前手上的計劃為scanning mirror，只做過類似acceleromter的結構而已
: 但，有人問我，做acceleromter與scanning mirror的差別
: (沒辦法，現在acceleromter太紅了，大家都想做)
: 個人認為
: mirror，只需考慮機械特性，對於後續電路，由系統端人員負責(誤)
: acceleromter，除了機械特性外，對於感測到什麼信號，也是一個問題
: 都是一樣難做的東西，大家有什麼想法嗎??
: 一起討論吧
: 題外話
: 有沒做過製程及模擬的人來帶領團隊如何做出元件的八掛嗎?
scanning mirror要考慮的是掃描的過程中
其實是一個張角的弦
所以掃瞄時兩邊和中間的速度會不同
這時候必須電路補償
此外
若是靜電驅動的
還要注意pull in的問題
accelerometer目前很多人是往CMOS MEMS的方向做
要考慮的是Q值大小 量測的精度與範圍 如何校正
因為訊號可能很微弱
如何設計電路就是大問題了
再加上可能有squeeze film的問題要解決
所以沒有想像中容易
其實actuator並不見得比sensor難
因為在學術界actuator可以動就可以丟paper
sensor還要想辦法校正量測
所以不容易呢
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 114.38.116.131
1F：推 cbshu:確定很多人都是往CMOS MEMS方向做嗎? 07/19 16:29
2F：→ cbshu:如果有survey過的話,業界很多都不是CMOS MEMS的喔 07/19 16:30
3F：→ cbshu:for example: ADIXL335就不是了 07/19 16:30
4F：→ cbshu:剛去了 transducer,actuator的題目比較少一些了 07/19 16:32
5F：→ cbshu:除非是特殊的製程或是材料.. 07/19 16:32
6F：推 tzjwinfcha:感謝f大的分享 07/19 20:46