作者fluid (那是啥)
看板NEMS
标题Re: [闲聊] 做scanning mirror 与 accelermoeter的 …
时间Sun Jul 19 03:40:23 2009
※ 引述《tzjwinfcha (TZJ)》之铭言：
: 闲聊而已
: 目前手上的计划为scanning mirror，只做过类似acceleromter的结构而已
: 但，有人问我，做acceleromter与scanning mirror的差别
: (没办法，现在acceleromter太红了，大家都想做)
: 个人认为
: mirror，只需考虑机械特性，对於後续电路，由系统端人员负责(误)
: acceleromter，除了机械特性外，对於感测到什麽信号，也是一个问题
: 都是一样难做的东西，大家有什麽想法吗??
: 一起讨论吧
: 题外话
: 有没做过制程及模拟的人来带领团队如何做出元件的八挂吗?
scanning mirror要考虑的是扫描的过程中
其实是一个张角的弦
所以扫瞄时两边和中间的速度会不同
这时候必须电路补偿
此外
若是静电驱动的
还要注意pull in的问题
accelerometer目前很多人是往CMOS MEMS的方向做
要考虑的是Q值大小 量测的精度与范围 如何校正
因为讯号可能很微弱
如何设计电路就是大问题了
再加上可能有squeeze film的问题要解决
所以没有想像中容易
其实actuator并不见得比sensor难
因为在学术界actuator可以动就可以丢paper
sensor还要想办法校正量测
所以不容易呢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 114.38.116.131
1F：推 cbshu:确定很多人都是往CMOS MEMS方向做吗? 07/19 16:29
2F：→ cbshu:如果有survey过的话,业界很多都不是CMOS MEMS的喔 07/19 16:30
3F：→ cbshu:for example: ADIXL335就不是了 07/19 16:30
4F：→ cbshu:刚去了 transducer,actuator的题目比较少一些了 07/19 16:32
5F：→ cbshu:除非是特殊的制程或是材料.. 07/19 16:32
6F：推 tzjwinfcha:感谢f大的分享 07/19 20:46