作者magicmike (magic)
看板NEMS
標題[問題] 請問SU-8強者 熱應力問題
時間Thu Jul 16 12:08:33 2009
我在塗SU-8 3025 厚度約70-90微米
長*寬=40*20微米平方
在長方形的角落 曝光完顯影後 發現有四個角落有裂痕狀
請問如何改善
我是在光罩的4角 多加一些小方型 約2*2微米平方 但是效果不佳
有較好的方法嗎?
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.124.32.212
1F：→ frankie:針對mcro-crack...Microchem建議解法都是hard bake :) 07/16 17:25
2F：推 wanttu:軟烤製程以step加溫上去並將時間延長看看 07/16 18:26
3F：推 quaintness:有考慮加個幾萬塊的濾光片嗎 07/17 10:55
4F：推 Ice98:我通常做出來 直角都變成圓角了 所以沒這個問題 XD 07/17 13:06