作者magicmike (magic)
看板NEMS
标题[问题] 请问SU-8强者 热应力问题
时间Thu Jul 16 12:08:33 2009
我在涂SU-8 3025 厚度约70-90微米
长*宽=40*20微米平方
在长方形的角落 曝光完显影後 发现有四个角落有裂痕状
请问如何改善
我是在光罩的4角 多加一些小方型 约2*2微米平方 但是效果不佳
有较好的方法吗?
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.124.32.212
1F：→ frankie:针对mcro-crack...Microchem建议解法都是hard bake :) 07/16 17:25
2F：推 wanttu:软烤制程以step加温上去并将时间延长看看 07/16 18:26
3F：推 quaintness:有考虑加个几万块的滤光片吗 07/17 10:55
4F：推 Ice98:我通常做出来 直角都变成圆角了 所以没这个问题 XD 07/17 13:06