作者grbb007 (水無痕)
看板NEMS
標題[問題] PDMS降低粘滯係數的方法?
時間Fri Jul 10 15:12:06 2009
我們實驗室購買了PDMS 型號184A
由於製程需要，我們想要使用在極小尺寸上(50nm)左右
但由於粘滯係蠻大的，所以在小線寬上PDMS不能填充完全
想說要用稀釋的方法降低粘滯性
但知識有限
想問版上的先進，有哪些東西可以降低PDMS粘滯性
或是更低粘滯係數的PDMS溶液!!
謝謝!!
順帶一問，使用PDMS溶解液溶解沾粘在石英玻璃試片上的PDMS
有哪些更好的方法?
在下試過，一般常溫中放置12小時
加熱50°C
使用超音波振盪
但效果不是很好，不知有哪些更好的方法
懇請各位先進賜教!
謝謝!
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◆ From: 140.117.59.15
1F：推 lockq:拿去抽真空 應該就能填充完全了 07/10 16:02
2F：推 Jinuse:抽真空是一個方法 不然就是用PDMS的矽油來稀釋A劑 07/10 17:38
3F：推 Ice98:PDMS調配時可以混正己烷將它稀釋 07/10 20:18
4F：推 MicroOptics:不要加熱 自然固化 07/10 21:32
5F：推 Looming:推樓上 嫌太慢就一半一半 07/11 21:27
6F：推 lockq:樓上是在國軍ONLINE嗎? 07/11 21:54