作者grbb007 (水无痕)
看板NEMS
标题[问题] PDMS降低粘滞系数的方法?
时间Fri Jul 10 15:12:06 2009
我们实验室购买了PDMS 型号184A
由於制程需要，我们想要使用在极小尺寸上(50nm)左右
但由於粘滞系蛮大的，所以在小线宽上PDMS不能填充完全
想说要用稀释的方法降低粘滞性
但知识有限
想问版上的先进，有哪些东西可以降低PDMS粘滞性
或是更低粘滞系数的PDMS溶液!!
谢谢!!
顺带一问，使用PDMS溶解液溶解沾粘在石英玻璃试片上的PDMS
有哪些更好的方法?
在下试过，一般常温中放置12小时
加热50°C
使用超音波振荡
但效果不是很好，不知有哪些更好的方法
恳请各位先进赐教!
谢谢!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.117.59.15
1F：推 lockq:拿去抽真空 应该就能填充完全了 07/10 16:02
2F：推 Jinuse:抽真空是一个方法 不然就是用PDMS的矽油来稀释A剂 07/10 17:38
3F：推 Ice98:PDMS调配时可以混正己烷将它稀释 07/10 20:18
4F：推 MicroOptics:不要加热 自然固化 07/10 21:32
5F：推 Looming:推楼上 嫌太慢就一半一半 07/11 21:27
6F：推 lockq:楼上是在国军ONLINE吗? 07/11 21:54