作者magicmike (magic)
看板NEMS
標題[問題] 請教SU-8達人 光阻去除問題
時間Wed Jul 8 12:54:39 2009
我在CIC晶片上旋塗SU-8 3025 厚度約60-90微米
加熱都是用加熱板
但是去光阻時我是丙酮+超音波 或 RIE(O2)
但是表面都會有殘留 或是 有雜草狀的殘餘光阻
請問有更好的辦法來去除乾淨嗎 謝謝!
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◆ From: 140.124.32.212
1F：推 quaintness:ICP(O2)/Remover PG 07/08 14:03
2F：→ magicmike:除了樓上說的兩種方法還有其他的嗎? 07/08 17:31
3F：推 wanttu:是在做lift off 還是純粹想把光阻全部洗掉?? 07/08 20:07
4F：→ magicmike:我是用SU-8做模 但是還是想要去完全乾淨 07/13 12:42
5F：推 wanttu:如果你的微模仁不怕腐蝕的話,食人魚液之前版上有人提過好用 07/13 14:48
6F：→ LittleHwa:不嫌棄的話,用膠帶如何？只要結構有相連我之前有整片撕 07/26 15:23
7F：→ LittleHwa:起來的經驗，但是撕起來之後還是要經過清洗程序才會比 07/26 15:23
8F：→ LittleHwa:較乾淨。 07/26 15:23