作者Ice98 (又寂寞又美好)
看板NEMS
標題Re: [問題] 49%HF吃BPSG速率問題
時間Fri Jul 3 17:50:34 2009
※ 引述《Jia1986 (平淡過生活的無奈)》之銘言：
: 想請教各位前輩
: 蝕刻速率問題
: 用49%的HF去吃直徑400um(370um)、高2.75um的BPSG大概要吃多久呢?
: 有蝕刻速率計算這方面的書嗎?
: 這方面沒什麼經驗所以想請教一下各位前輩...
: 先感謝各位了!
http://ieeexplore.ieee.org/search/wrapper.jsp?arnumber=546406
裡面可能有你要的資訊
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