作者Ice98 (又寂寞又美好)
看板NEMS
标题Re: [问题] 49%HF吃BPSG速率问题
时间Fri Jul 3 17:50:34 2009
※ 引述《Jia1986 (平淡过生活的无奈)》之铭言：
: 想请教各位前辈
: 蚀刻速率问题
: 用49%的HF去吃直径400um(370um)、高2.75um的BPSG大概要吃多久呢?
: 有蚀刻速率计算这方面的书吗?
: 这方面没什麽经验所以想请教一下各位前辈...
: 先感谢各位了!
http://ieeexplore.ieee.org/search/wrapper.jsp?arnumber=546406
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