作者newbrain (matlab=中學數學)
看板NEMS
標題[問題] 蝕刻polymer要使用哪種氣體較好?
時間Wed Jun 17 15:08:51 2009
在ARC(polymer)上面有PR(polymer)的柱狀陣列
柱子直徑140~150nm
周期(柱子中心到下一個柱子中心的距離)約250nm
現在我的問題是 希望圖形能夠轉移得漂亮 柱子的直徑不要變小太多
那我應該要用什麼樣的氣體以及條件(流量大小、壓力等等)會比較好?
我知道用O2的話可以蝕刻polymer
可是我不知道它的非等向性(anisotropic etch)在這種小尺寸的時候表現怎麼樣
所以上來問問大家有沒有更好的經驗可以分享
謝謝
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