作者newbrain (matlab=中学数学)
看板NEMS
标题[问题] 蚀刻polymer要使用哪种气体较好?
时间Wed Jun 17 15:08:51 2009
在ARC(polymer)上面有PR(polymer)的柱状阵列
柱子直径140~150nm
周期(柱子中心到下一个柱子中心的距离)约250nm
现在我的问题是 希望图形能够转移得漂亮 柱子的直径不要变小太多
那我应该要用什麽样的气体以及条件(流量大小、压力等等)会比较好?
我知道用O2的话可以蚀刻polymer
可是我不知道它的非等向性(anisotropic etch)在这种小尺寸的时候表现怎麽样
所以上来问问大家有没有更好的经验可以分享
谢谢
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◆ From: 140.112.33.149