[前文恕刪] : : 耶... : : 我們沒這東西噎... : : 之前在南台科技大學也有聽學長他們su8製程是使用烘箱 : : 如果效果這麼大的話我就找我們老師敗一下了 : : 不過還是想現場請教，以烘箱烘烤的效果真的比加熱平板好嗎？ : : 結果明顯嗎？ : 我們是用海金龍牌的SU-8 XD : 在datasheet裡面有提到建議用Hot-plate : 可能是底部受熱比較均勻吧 在此提出一點小小看法 關於用加熱板還是烘箱的問題 如果你的實驗後續是要作lift off製程或是要去除光阻的話 請用烘箱來作烤乾的動作 如果是只是普通要當強壯結構或沒有去除問題 就用平板式的 烘箱出來的光阻 正常來說 就像好吃的麵包一樣 外面是硬的 裡面是軟的(當然不是真的軟) 在丙酮去除的時候是比平板式整塊硬梆梆好去多了 很多人也抱怨光阻去不掉 或許在製程可允許的範圍下可以改變烘烤方式 不過這個當然也要看不同光阻的特性 不過大部分是適用的 給你做個參考 -- 忙的時候，想要休息； 渡假的時候，想到未來； 窮的時候，渴望富有； 生活安逸了，怕幸福不能長久； 該決定的時候，擔心結果不如預期； 看明白了，後悔當初沒有下定決心； --

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