[前文恕删] : : 耶... : : 我们没这东西噎... : : 之前在南台科技大学也有听学长他们su8制程是使用烘箱 : : 如果效果这麽大的话我就找我们老师败一下了 : : 不过还是想现场请教，以烘箱烘烤的效果真的比加热平板好吗？ : : 结果明显吗？ : 我们是用海金龙牌的SU-8 XD : 在datasheet里面有提到建议用Hot-plate : 可能是底部受热比较均匀吧 在此提出一点小小看法 关於用加热板还是烘箱的问题 如果你的实验後续是要作lift off制程或是要去除光阻的话 请用烘箱来作烤乾的动作 如果是只是普通要当强壮结构或没有去除问题 就用平板式的 烘箱出来的光阻 正常来说 就像好吃的面包一样 外面是硬的 里面是软的(当然不是真的软) 在丙酮去除的时候是比平板式整块硬梆梆好去多了 很多人也抱怨光阻去不掉 或许在制程可允许的范围下可以改变烘烤方式 不过这个当然也要看不同光阻的特性 不过大部分是适用的 给你做个参考 -- 忙的时候，想要休息； 渡假的时候，想到未来； 穷的时候，渴望富有； 生活安逸了，怕幸福不能长久； 该决定的时候，担心结果不如预期； 看明白了，後悔当初没有下定决心； --

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