作者cp2jp6 (大頭)
看板NEMS
標題[問題] SU8-50 Develop
時間Fri Jun 12 14:36:48 2009
事情是這樣的
之前將su8塗佈於玻璃上
結構做的十分完整
可是當換了另一個case便完全不行了
想請教板上各位高手是如何做的呢??
----------------實驗開始---------------
我們想利用su8-50做出高度100um寬度60um長度500um的凹槽(深寬比:?)
因此我們講光阻塗佈於Si Wafer上
也在塗佈光阻前先塗佈hmds
問題來了
經過軟烤、曝光、顯影後凹槽卻一直無法吃穿...
之前也嘗試過將wafer放入丙酮以超音波器先震盪個數分中後再放入顯影液以超音波震盪
顯影"40分鐘"，雖然結構有吃穿但是仍然不漂亮
好...今天做了一次
一樣直接泡入顯影液以超音波震盪器震盪40分鐘(我知道這時間對su8原廠參數來說已經
很扯了)
期間每隔五分鐘以氮氣吹乾...翻面
但是今天卻仍然無法吃透
附上全部製程過程
希望高手能幫我看看哪裡出錯
製程:(塑膠光照)
1.wafer先以食人魚清洗
2.塗佈hmds-烤乾
3.塗佈su8-50(500rpm-25s.1000rpm-35s)
4.軟烤(加熱平板)2分鐘升五度.65度停10min.95度停30min-自然降至室溫
5.曝光:500mJ/cm^2
6.曝後烤:(加熱平板)2分鐘升五度.65度停3min.95度停10min-自然降至室溫
7.顯影....@@"
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以上是最近面臨的困難
由於實驗一直做不到所要的完美
因此使用的su8跟wafer幾乎都是浪費
所以上此想請教板上的各位高手
大家在su8製程時是否有些小秘訣能傳授
或者我的製程步驟是否出了問題?
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.123.124.203
1F：推 LittleHwa:顯影液用多一點吧，我之前用一缸去顯影試片，會比用小的 06/12 14:56
2F：→ LittleHwa:結晶皿來的快速，圖形也比較完整，至於顯影完的顯影液可 06/12 14:57
3F：→ LittleHwa:已回收在利用多次。 06/12 14:57
4F：→ LittleHwa:以 再 06/12 14:59
5F：推 LittleHwa:用塑膠光罩也可能有差，因為該擋光的地方不夠擋光，不該 06/12 15:14
6F：→ LittleHwa:擋光的地方不夠透明，加上塑膠光罩在遮罩邊緣沒有玻璃光 06/12 15:14
7F：→ LittleHwa:罩來的平整。 06/12 15:15
8F：推 Jinuse:樓上是SU-8達人耶 06/12 15:24
9F：推 Jinuse:只用食人魚清洗的話 表面還是會有chemical oxide唷 06/12 15:28
10F：→ Jinuse:不確定這是不是原PO要的 06/12 15:28